Fotolithografie is een proces dat in microfabricage wordt gebruikt om geometrische patronen over te brengen op een film of substraat. Geometrische vormen en patronen op een halfgeleider vormen de complexe structuren waarmee de doteerstoffen, elektrische eigenschappen en draden een circuit kunnen voltooien en een technologisch doel kunnen vervullen.
Wat is het fotolithografieproces?
Fotolithografie, ook wel optische lithografie of UV-lithografie genoemd, is een proces dat in microfabricage wordt gebruikt om onderdelen op een dunne film of het grootste deel van een substraat (ook wel een wafer genoemd) te modelleren. … In complexe geïntegreerde schakelingen kan een CMOS-wafer de fotolithografische cyclus wel 50 keer doorlopen.
Wat is het microfabricageproces?
Microfabricage is het proces van het fabriceren van miniatuurstructuren van micrometerschalen en kleiner. … De belangrijkste concepten en principes van microfabricage zijn microlithografie, doping, dunne films, etsen, hechten en polijsten.
Wat is een lithografieproces in halfgeleiders?
Een halfgeleiderlithografiesysteem voert een proces uit waarbij zeer complexe circuitpatronen getekend op een fotomasker gemaakt van een grote glasplaat worden verkleind met behulp van ultra-high-performance lenzen en belicht op een siliciumsubstraat dat bekend staat alseen wafeltje. …
Wat is lithografie in het fabricageproces?
Lithografie ishet proces van het overbrengen van patronen van geometrische vormen in een masker naar een dunne laag stralingsgevoelig materiaal (resist genoemd) die het oppervlak van een halfgeleiderwafel bedekt. Afbeelding 5.1 illustreert schematisch het lithografische proces dat wordt gebruikt bij de fabricage van IC's.
