Fotolithografie wordt vaak gebruikt om computerchips te produceren. Bij het produceren van computerchips is het substraatmateriaal een met resist bedekte wafel van silicium. Met dit proces kunnen honderden chips tegelijkertijd worden gebouwd op een enkele siliciumwafer.
Hoe wordt fotolithografie gedaan?
Fotolithografie gebruikt drie basisprocesstappen om een patroon van een masker naar een wafel over te brengen: coaten, ontwikkelen, blootleggen. Het patroon wordt tijdens een volgend proces overgebracht naar de oppervlaktelaag van de wafel. In sommige gevallen kan het resistpatroon ook worden gebruikt om het patroon voor een afgezette dunne film te definiëren.
Waarom wordt het fotolithografie genoemd?
Halfgeleiderlithografie (fotolithografie) - Het basisproces . De fabricage van een geïntegreerde schakeling (IC) vereist een verscheidenheid aan fysische en chemische processen die worden uitgevoerd op een halfgeleidersubstraat (bijv. silicium). … Het woord lithografie komt van het Griekse lithos, wat stenen betekent, en graphia, wat schrijven betekent.
Waarom is lithografie belangrijk?
Lithografie is het proces van het overbrengen van patronen van geometrische vormen in een masker naar een dunne laag stralingsgevoelig materiaal (resist genoemd) die het oppervlak van een halfgeleiderwafel bedekt. Afbeelding 5.1 illustreert schematisch het lithografische proces dat wordt gebruikt bij de fabricage van IC's.
Wat is de meest gebruikte methode in lithografische methoden?
Optischlithografie is een op fotonen gebaseerde techniek die bestaat uit het projecteren van een afbeelding in een lichtgevoelige emulsie (fotoresist) die is gecoat op een substraat zoals een siliciumwafel. Het is het meest gebruikte lithografieproces in de grootschalige productie van nano-elektronica door de halfgeleiderindustrie.
