Fotolithografie wordt vaak gebruikt om computerchips te produceren. Bij het produceren van computerchips is het substraatmateriaal een met resist bedekte wafel van silicium. Met dit proces kunnen honderden chips tegelijkertijd worden gebouwd op een enkele siliciumwafer.
Hoe wordt fotolithografie gedaan?
Fotolithografie gebruikt drie basisprocesstappen om een patroon van een masker naar een wafel over te brengen: coaten, ontwikkelen, blootleggen. Het patroon wordt tijdens een volgend proces overgebracht naar de oppervlaktelaag van de wafel. In sommige gevallen kan het resistpatroon ook worden gebruikt om het patroon voor een afgezette dunne film te definiëren.
Wat is fotolithografie en hoe werkt het?
Fotolithografie is een patroonproces waarbij een lichtgevoelig polymeer selectief wordt blootgesteld aan licht door een masker, waardoor een latent beeld in het polymeer achterblijft dat vervolgens selectief kan worden opgelost om een patroon te verkrijgen toegang tot een onderliggend substraat.
Wat is fotolithografie en hoe wordt het gebruikt om transistors te implementeren?
Het gebruikt licht om een geometrisch patroon over te brengen van een fotomasker (ook wel een optisch masker genoemd) naar een lichtgevoelige (dat wil zeggen lichtgevoelige) chemische fotoresist op het substraat. … Het biedt nauwkeurige controle over de vorm en grootte van de objecten die het creëert en kan op een kosteneffectieve manier patronen over een volledig oppervlak creëren.
Waarom wordt het fotolithografie genoemd?
Halfgeleiderlithografie(Fotolithografie) - Het basisproces . De fabricage van een geïntegreerde schakeling (IC) vereist een verscheidenheid aan fysische en chemische processen die worden uitgevoerd op een halfgeleidersubstraat (bijv. silicium). … Het woord lithografie komt van het Griekse lithos, wat stenen betekent, en graphia, wat schrijven betekent.
