In het geval van halfgeleiderlithografie (ook wel fotolithografie genoemd) zijn onze stenen silicium wafels en onze patronen zijn geschreven met een lichtgevoelig polymeer dat fotoresist wordt genoemd.
Wat bedoel je met fotolithografie?
Fotolithografie, ook wel optische lithografie of UV-lithografie genoemd, is een proces dat in microfabricage wordt gebruikt om onderdelen op een dunne film of het grootste deel van een substraat (ook wel een wafer genoemd) te modelleren. … Deze methode kan extreem kleine patronen creëren, tot enkele tientallen nanometers groot.
Waarom wordt lithografie gebruikt bij de productie van halfgeleiders?
Fotolithografie is een proces dat wordt gebruikt in microfabricage om geometrische patronen over te brengen op een film of substraat. Geometrische vormen en patronen op een halfgeleider vormen de complexe structuren waarmee de doteerstoffen, elektrische eigenschappen en draden een circuit kunnen voltooien en een technologisch doel kunnen vervullen.
Wat is het doel van fotolithografie?
Fotolithografie is een van de belangrijkste en gemakkelijkste methoden van microfabricage en wordt gebruikt om gedetailleerde patronen in een materiaal te maken. Bij deze methode kan een vorm of patroon worden geëtst door selectieve blootstelling van een lichtgevoelig polymeer aan ultraviolet licht.
Wat is apparatuur voor halfgeleiderlithografie?
Halfgeleiderlithografieapparatuur wordt gebruikt in de belichtingsfase van de halfgeleiderchipproductieproces. … Halfgeleiderlithografieapparatuur gebruikt een projectielens om het circuitpatroon, dat is geschreven op een originele plaat, een dradenkruis genaamd, te verkleinen en het patroon op een wafer bloot te leggen.
