Welke van de volgende beschrijft het fotolithografieproces het beste? a. De processtap die een patroon overbrengt naar een onderliggende laag of de bulk van het substraat. … De processtap die een patroon definieert en overbrengt naar een resistlaag op de wafer.
Wat is een fotolithografieproces?
Fotolithografie is het proces van het overbrengen van geometrische vormen op een masker naar het oppervlak van een siliciumwafel. De stappen die betrokken zijn bij het fotolithografische proces zijn het reinigen van wafels; vorming van een barrièrelaag; fotoresist applicatie; zacht bakken; masker uitlijning; blootstelling en ontwikkeling; en hard bakken.
Wat zijn de drie 3 basisstappen van het fotolithografieproces?
Fotolithografie gebruikt drie basisprocesstappen om een patroon van een masker naar een wafel over te brengen: coaten, ontwikkelen, blootleggen. Het patroon wordt tijdens een volgend proces overgebracht naar de oppervlaktelaag van de wafel.
Wat beschrijft fotolithografie met een voorbeeld?
1: lithografie waarbij fotografisch geprepareerde platen worden gebruikt. 2: een proces waarbij een patroon fotografisch wordt overgebracht op een oppervlak om te worden geëtst (zoals bij het produceren van een geïntegreerde schakeling) Andere woorden uit fotolithografie Voorbeeldzinnen Meer informatie over fotolithografie.
Wat zijn de vereisten voor fotolithografie?
In het algemeen, eenfotolithografieproces vereist drie basismaterialen, lichtbron, fotomasker en fotoresist. Fotoresist, een lichtgevoelig materiaal, heeft twee soorten, positief en negatief. De positieve fotoresist wordt beter oplosbaar na blootstelling aan een lichtbron.
